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                無塵室的定義

                文章出處:公司動態 責任編輯:東莞市佳境凈化科技有限公司 發表時間:2021-08-03
                  

                無塵室(Clean Room),亦稱為無塵室或清凈室。

                無塵室是指可以將環境因素控制在規定數值內的空間,稱之為無塵室。室內環境因素包括 空氣中:微生物、微塵粒、氣體分子、溫度、濕度、氣流流型、風速、壓差、照度、噪音、微振動、靜電、風量、電磁波等無塵室是指將一定空間范圍內之空氣中的 微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特 別設計之房間。

                亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。它是污染控制的基礎??刂瓶諝鈶腋∥⒘舛?,從而達到適當的微粒潔凈度級別。

                無塵室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。

                無塵室也稱潔凈室,是指一個具有低污染水平的環境,這里所指的污染來源有灰塵,空氣傳播的微生物,懸浮顆粒,和化學揮發性氣體。更準確地講,一個凈室具有一個受控的污染級別,污染級別可用每立方米的顆粒數,或者用大顆粒大小來厘定的。

                低級別的凈室通常是沒有經過消毒的(如沒有受控的微生物),更多的是關心空氣傳播的灰塵。

                凈室被廣泛地應用在對環境污染特別敏感的行業,例如半導體生產、生化技術、生物技術、精密機械、制藥、醫院等行業等,其中以半導體業其對室內之溫濕度、潔凈度要求尤其嚴格、故其必需控制在某一個需求范圍內,才不會對制程產生影響。作為生產設施,凈室可以占據廠房很多位置。

                無塵室的定義

                無塵室系統制造符合規格之潔凈空氣,連續且穩定供給足夠之潔凈空氣于使用端,潔凈室內的制造區(FAB)。一般而言,制造潔凈空氣之氣源為外氣(OUTSIDE AIR),經過潔凈室系統各種處理單元設備之處理后進而得到符合規格之潔凈空氣。

                以下簡單介紹其處理流程:外氣經由外氣空調箱(Make-up Air Unit或MAU)初步過濾微塵(particle)并控制其溫濕度后,經由回風管道間(Mech. Chase),將潔凈室之循環風量與外氣空調箱之補充風量混合,經由冷卻盤管(Dry Cooling Coil)將回風管道間之回風降溫至凈室要求之規格,通過循環風扇(Fan Filter Unit或FFU)帶動潔凈室的氣流循環帶走微塵及熱量,經過超高性能過濾網(Ultra-low penetration air或ULPA Filter)過濾后,供應至Fab區。